Nach Verwendungszweck
Druckempfindliche und kraftempfindliche- Sensoren, Positionssensoren, Füllstandssensoren, Energieverbrauchssensoren, Geschwindigkeitssensoren, Beschleunigungssensoren, Strahlungssensoren, Wärmesensoren.
aus Prinzip
Vibrationssensor, Feuchtigkeitssensor, Magnetsensor, Gassensor, Vakuumsensor, biologischer Sensor usw.
Per Ausgangssignal
Analogsensor: Wandelt die gemessene nicht-elektrische Größe in ein analoges elektrisches Signal um.
Digitaler Sensor: Wandelt die gemessene nicht-elektrische Größe in ein digitales Ausgangssignal um (einschließlich direkter und indirekter Umwandlung).
Pseudo-digitaler Sensor: wandelt die gemessene Signalgröße in ein Frequenzsignal oder einen kurzzeitigen Signalausgang- um (einschließlich direkter oder indirekter Umwandlung).
Schaltsensor: Wenn ein gemessenes Signal einen bestimmten Schwellenwert erreicht, gibt der Sensor entsprechend ein festgelegtes Signal mit niedrigem- oder hohem- Pegel aus.
Je nach Herstellungsprozess
Sensor (Abbildung 3)
Sensor (Abbildung 3)
Integrierte Sensoren werden unter Verwendung von Standardprozesstechnologien für die Herstellung von integrierten Halbleiterschaltungen auf Silizium--Basis hergestellt. Üblicherweise ist auch ein Teil der Schaltung zur Vorverarbeitung des zu testenden Signals auf demselben Chip integriert.
Der Dünnfilmsensor wird durch Abscheiden eines dünnen Films des entsprechenden empfindlichen Materials auf dem dielektrischen Substrat (Substrat) gebildet. Bei Verwendung eines Hybridprozesses können auch Teile der Schaltung auf diesem Substrat hergestellt werden.
Der Dickschichtsensor wird hergestellt, indem die Aufschlämmung des entsprechenden Materials auf das Keramiksubstrat aufgetragen wird, das normalerweise aus Al2O3 besteht, und dann wärme-behandelt wird, um die Dickschicht zu bilden.
Keramische Sensoren werden nach dem Standard-Keramikverfahren oder einer seiner Varianten (Sol, Gel etc.) hergestellt.
Nach entsprechenden vorbereitenden Operationen wird das geformte Element bei hoher Temperatur gesintert. Es gibt viele Gemeinsamkeiten zwischen den beiden Verfahren, Dick-- und Keramiksensoren, und in mancher Hinsicht kann das Dickschicht--Verfahren als Variation des Keramikverfahrens betrachtet werden.
Jede Verfahrenstechnik hat ihre eigenen Vor- und Nachteile. Aufgrund des geringen Kapitaleinsatzes für Forschung, Entwicklung und Produktion sowie der hohen Stabilität der Sensorparameter ist der Einsatz von Keramik- und Dickschichtsensoren sinnvoll.
Durch Messung
Physikalische Sensoren werden hergestellt, indem die Eigenschaften bestimmter physikalischer Eigenschaften der zu messenden Substanzen signifikant verändert werden.
Chemische Sensoren bestehen aus empfindlichen Elementen, die chemische Größen wie Zusammensetzung und Konzentration chemischer Substanzen in elektrische Größen umwandeln können.
Bio-sensoren sind Sensoren, die die Eigenschaften verschiedener Organismen oder biologischer Substanzen nutzen, um chemische Komponenten in Organismen zu erkennen und zu identifizieren.
nach seiner Zusammensetzung
Basissensor: Dies ist das grundlegendste Einzelumwandlungsgerät.
Kombinierter Sensor: Es handelt sich um einen Sensor, der aus einer Kombination verschiedener Einzelumwandlungsgeräte besteht.
Anwendungssensor: Es ist ein Sensor, der aus einem Basissensor oder einem kombinierten Sensor und anderen Mechanismen besteht.
Per Aktionsformular
Je nach Wirkform kann man ihn in aktive und passive Sensoren unterteilen.
Der aktive Sensor hat einen Aktionstyp und einen Reaktionstyp. Diese Art von Sensor kann ein bestimmtes Detektionssignal an das Messobjekt senden, kann die Änderung des Detektionssignals im Messobjekt detektieren oder irgendeine Art von Detektionssignal im Messobjekt erzeugen. Effekt, um ein Signal zu bilden. Der Modus zum Erfassen der Änderung des Erfassungssignals wird als Aktionstyp bezeichnet, und der Modus zum Erfassen der Antwort und Bilden des Signals wird als Reaktionstyp bezeichnet. Radar- und Hochfrequenzbereichsdetektoren sind aktive Beispiele, während photoakustische Effektanalysatoren und Laseranalysatoren reaktive Beispiele sind.
Passive Sensoren empfangen nur das vom Messobjekt selbst erzeugte Signal, wie Infrarot-Strahlungsthermometer, Wärmebildkameras etc.
